阴极溅射

基本属性

• 拼音字母yin ji jian she
• 拼音首字母yjjs
• 注音符号ㄧㄣ ㄐㄧ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ

扩展释义

当真空室内的真空度为13Pa时，在阴阳两电极之间加上一定的电压，气体就会发生自激放电，从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上。这种溅射就称为阴极溅射。