聚焦环

基本属性

• 拼音字母ju jiao huan
• 拼音首字母jjh
• 注音符号ㄐㄩ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢ

扩展释义

聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。